ポーラスチャック
Porous Chuck
ポーラスチャック
ポーラスチャック（吸着テーブル）の多くはダイシングソーをはじめ各種半導体製造装置（主に後工程）や検査装置に組み込まれている部品です。テーブル表面のポーラス（多孔質）構造と負圧を利用することによって薄いシリコンウェハー等を平面保持することが出来る製品です。最近ではシリコンウェハはもちろん、フィルム・紙など、ありとあらゆる薄物ワークの吸着固定を実現します。
ポーラス表面は3µm以下の高精度に仕上げ可能です。
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ポーラスチャックの種類
当社のポーラスチャックは95%以上がオーダーメイド製作。ボディポーラスの材質や、気孔径の選定など、ポーラスチャックの仕様は無限大。
スタンダード仕様
スタンダード仕様のポーラスチャック。コストパフォーマンスに優れ、単納期での対応が可能。
- ・ポーラス平均気孔径:55μm
- ・ポーラス材質:アルミナセラミック
- ・ボディ材質:SUS
ファインポーラスチャック
緻密な気孔径のポーラスを選定。フィルムなど極薄ワーク への対応やポーラス全面を覆わない部分吸着力に優れます。
- ・ポーラス平均気孔径:2μm
- ・ポーラス材質:アルミナセラミッ ク
- ・帯電除去素材
SiCポーラスチャック
帯電除去可能なポーラス材(体積抵抗率:約10⁷Ω・cm) を使用。静電気対策に最適なポーラスチャックです。
- ・選定可能気孔径:10~230μm
- ・ ポーラス材質:SiC(炭化ケイ素)
- ・帯電除去素材、傷に強くレーザー加工用途に最適
硬質アルマイト(アルミボディ)
ポーラスチャック
アルミボディに厚膜の硬質アルマイト処理を施した仕様。 スタンダード仕様と比較し軽量化を実現。
- ・ポーラス材質：アルミ
- ・搬送、検査、稼働ステージへの搭載に最適
セラミックボディ
ポーラスチャック
ボディにセラミックを採用し、高精度・軽量化を両立したポーラスチャックです。
- ・ポーラス材質：アルミナセラミック
- ・金属素材は不使用
- ・熱膨張係数が低いため加熱用途に最適
メタル
ポーラスチャック
SUS素材のポーラスを選定することで、ワークとポーラス間で導通をとることができます。
- ・ポーラス材質：SUS316L
- ・選定可能気孔径：100 or 120μm
HoVaC
(ホットバキュームチャック)
ヒーターを内蔵することにより、最大250°Cまでの加熱機能 を追加したポーラスチャック。吸着と加熱を同時に 可 能 で す 。プ レ ー ト 状 の 部 品 の 積 層 構 造 と な っ て お り 、 加 熱 時 の熱変形を最小限に抑える工夫を施しています。
- ・選 定 可 能 気 孔 径:2 μ m ~2 3 0 μ m
- ・ポーラス材質:アルミナセラミック or SiC
- ・ボディ材質:SUS(~100°C)、アルミナセラミック(~250°C)
- ・温度 分 布:± 2 °C ( 仕 様 に よ る )
- ・サイズ:φ100~φ400、□100~□400
- ・ヒーターの種類や配線パターンのカスタマイズに対応
面発光ポーラスチャック
光源を内蔵することにより、発光機能を追加したポーラスチャックです。点発光でなく全面発光となり多層ウェハの内部パターン検査や、検査ワークのエッジ検査の精度向上などに貢献します。
- ・選定可能気孔径:120μm
- ・ポーラス材質:アルミナセラミック (白のみ)
- ・ボディ材質:SUS
- ・光量:~10万ルクス(ポーラス表面での測定値)
- ・サイズ : ~ φ 2 0 0 、□ 2 0 0
選定可能な仕様一覧
(記載のないものはお問い合わせください)
即納品オンライン販売
ポーラスチャックのストックリストです。
お急ぎでポーラスチャックをご使用したい方は、下記のリストよりご選択下さい。
最短で翌営業日に出荷致します。
※只今、オンライン販売を準備中です。整い次第、購入できるようになりますので、それまではお問合せください
丸型ポーラスチャック
| 型式 | YPR-0200-055 |
| サイズ | φ230×15t ［mm］ |
| 吸着エリア | φ200 ［mm］ |
| ポーラス気孔径 | 55 ［μm］ |
| エアー引き出し位置 | 側面・下面 |
| ポーラス色 | 黒 |
| ポーラス材質 | アルミナ |
| ボディ材質 | SUS |
| 吸着面精度 | 5 ［μm］ |
| 価格 | 137,500円(税込・送料込み) |
角型ポーラスチャック
| 型式 | YPS-0100-055 |
| サイズ |
125×125×15t ［mm］
|
| 吸着エリア | 100×100 ［mm］ |
| ポーラス気孔径 | 55 ［μm］ |
| エアー引き出し位置 | 側面・下面 |
| ポーラス色 | 黒 |
| ポーラス材質 | アルミナ |
| ボディ材質 | SUS |
| 吸着面精度 | 5 ［μm］ |
| 価格 | 114,400円(税込・送料込み) |
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