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ダイシングソー用精密部品

PRECISION PARTS FOR DICING SAWS

当社の製造するダイシングソーに組み込まれている精密部品は、チタンフランジやハブマウントと呼ばれています。これらの部品は主に半導体製造工程で使用され、シリコンウェハーを切断するための薄いブレード(カッター)をフランジで保持して使用します。ダイシングソーのスピンドルは高速回転に対応するため、フランジの材質には軽くて剛性の高いチタン合金が採用されています。

ブレードは極めて薄く(厚さ20μm程度)割れやすいため、ブレード保持面は高い平面性が求められます。また、フランジにはチッピング等によるダイシングの加工不良を防ぐため、高い振れ精度が要求されます。当社のフランジは、微細化が進む半導体の製造に不可欠であり、μオーダーの高精度な加工技術が必要です。

これらの技術は通信やAI技術の発展に寄与し、豊かな暮らしの実現に向けて重要な役割を果たしています。

当社の特徴

長年の技術で培った内面テーパ

鏡面加工

難削材であるチタン合金の超精密

平面加工

超高速回転に対応した高精度

真円加工・バリレス加工

ボディ

Body

当社では、様々なブレード形状やスピンドル形状に合わせたフランジの加工が可能です。たとえ部品図がなくても、現物や簡単なスケッチ、仕様書があれば当社にて図面を作成し、製品として納品することができます。お客様の多様なニーズに対応する柔軟なサービスを提供しております。

材質

Material

主な材料はチタン、ステンレス、アルミから製作可能です。

対応サイズ

Sizes

主流の2inch、3inchからφ100サイズの大型製品も加工可能です。

対応処理

Treatment

熱処理、各種アルマイト処理に対応します。
その他の処理にも対応しますので、お問い合わせください。

精度

Precision

0.001単位で設定可能です。

幾何公差

Geometric Tolerance

全周振れ、真円度、直角度、平行度に対応できます。

内径形状

Bore Shape

各種テーパ規格、ストレート穴に対応します。ご相談ください。

数量

Quantity

1個から量産まで幅広いニーズに対応します。

\ 多くのお客様に愛用されています! /

サンプル紹介

2inchフランジ

ここがポイント!

高出力スピンドルに対応したフランジです。
パッケージ基板の切断に対応しています。

2inchフランジ

ここがポイント!

高速回転に対応したフランジです。
半導体材料、
ガラス、 セラミックスの切断に最適です。

3inchフランジ

ここがポイント!

大型のフランジです。SUS材の他、軽量化のためにチタンやアルミ材でも製作可能です。

よくあるご質問

主に半導体製造工程で使用されるダイシングソーに組み込まれている精密部品です。

チタン、ステンレス、アルミから製作可能です。

はい、可能です。ご要望の形状をご指示ください。

はい、可能です。現品を借用できれば、当社で図面化も致します。

DISCO社以外の製品であれば、製作可能です。

型式のみの発注は出来ません。現品しもしくは図面が必要です。

はい、可能です。材質により 施工可能な処理が異なりますので、ご相談ください。

仕様により大きく異なります。詳しくはこちらからお問い合わせ下さい。

本社横浜工場から全国へ訪問します。ご希望があればweb会議も対応致します。

特に指定は御座いません。直接のご販売も可能です。