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ポーラスチャック

ポーラスチャック Porous Chuck

ポーラスチャック(吸着テーブル)とは半導体製造工程で使用されるダイシングソーや検査装置に組み込まれている部品です。テーブル表面のポーラス(多孔質)構造と負圧を利用することによって薄いシリコンウェハー等を平面保持することが出来る製品です。ダイシングソーでは20μm程度の幅でシリコンウェハーを切断していくため、ウェハー吸着面には高い平面平行度が求められます。


≫ ポーラスチャックの実績は「実績の紹介」よりご覧いただけます

ポーラスチャックの種類

当社のポーラスチャックでは標準的に吸着面の平面度を5μm以下の精度で仕上げています。吸着面の大きさや台座の形状にもよりますが吸着面の平面度を3μm以下の精度で仕上げることも可能です。 ポーラスチャックは半導体製造装置だけでなく、薄いものを平面に吸着させるという特徴を活かして各種測定装置、検査装置にも使われています。

詳しくはポーラスチャックオフィシャルサイトをご覧ください。
当社ではポーラスチャックに限らずポーラスを使った応用製品についてのご相談も承っております。

 


丸型ポーラスチャック
シリコンウェハーの吸着に最適な製品。各種サイズに対応可能。

角型ポーラスチャック
フィルム・紙の吸着に最適な製品。加工や検査用として多く採用されてます。

突上げステージ
フィルム・紙の吸着に最適な製品。加工や検査用として多く採用されてます。

自吸型ポーラスチャック
電池が内蔵されているため、ハンドリング性に優れた製品です。

面発光ポーラスチャック
検査用として最適な製品。バックライト機能としてご使用していただけます。

ヒーターユニット
熱実験に最適な製品。最大で250℃まで加熱し、固定が可能です

環境、条件、用途に応じた仕様

形状
  • 丸型
  • 角型
  • 円筒型
  • 特殊型(各種形状に対応可能)
ボディ素材
  • ステンレス
  • チタン合金
  • アルミニウム
  • セラミックス
ポーラス素材
  • セラミックス
  • ステンレス
  • カーボン
  • PTFE
サイズ
  • 丸型 (φ5mm~φ500mm)
  • 角型 (□5mm~□350mm)
ボディ表面処理
  • フッ素樹脂加工
  • アルマイト
  • 防錆黒色皮膜LD処理
  • 無電解ニッケルメッキ
ポーラス素材
  • 3μm~580μ

 

TEL 045-500-1363 平日9:00~17:00

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