チタン製フランジ Titanium Frange
チタン製フランジとは主に半導体製造工程で使用されるダイシングソーに組み込まれている部品です。シリコンウェハーを切断するための薄いブレード(カッター)を保持します。
歩留まりよく加工するためにブレードは薄く(薄いもので厚さ20μm程度)、フランジとブレードを支えるダイシングソーのスピンドルは高速回転になっています。
それに対応するためフランジの材質は軽く、剛性の高いチタン合金を使用しています。
またフランジにはチッピング等によるダイシングの加工不良を防ぐため高い振れ精度が求められます。
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チタン製フランジの形状
 正面 |
斜視点 |
裏面 |
チタン製フランジの仕様
| 振れ精度 | 4μm以下 |
| テーパ面当り | 80％以上 |
| ボディ形状 | 様々なブレード形状、スピンドル形状に合わせた形状に加工することが可能です。 ダイシングソー以外の装置（テーパ／ストレートスピンドル形状）にも応用することが可能です。 部品図がなくとも現物や簡単なスケッチ・仕様書があれば、当社にて図面作成し製品として納品することができます。 |
