当社にはヒーター内蔵の真空吸着テーブルであるHoVaC(ホットバキュームチャック)という製品が御座います。
標準でシリコンラバーヒーターを採用しており最大250℃まで加熱が可能となりますがその熱上昇についてのご紹介をさせて頂きます。
条件として12inchウェハサイズでヒーター定格が200V 900Wの製品にて温調機の設定温度と時間経過によるポーラスチャック表面温度の関係が以下のグラフとなります。

ポーラスチャック表面を200℃まで加熱し温度を安定させるためには加熱開始から約2時間要します。こちらは製品サイズによって異なることと、ヒーターの能力を上げる事で短縮も可能となりますが急加熱を行うとセラミックの破損につながる恐れが有る為、本データレベルの加熱カーブを推奨しております。
近年装置への搭載や実験用としてHoVaC単体でのご使用に納入実績が増えております。
ウェハやフィルムのように薄いワークの固定をしつつ加熱を行う工程にてご相談が有る方は是非お問い合わせフォームよりお問い合わせ下さい。