今回は当社のポーラスチャックの吸着能力についてご紹介します。
基本的に標準的なポーラスチャックはポーラス面全面を吸着ワークで塞いで使用頂く必要がございます。
塞がっていないポーラス部分が存在するとそこから空気の漏れが発生し吸着力が大きく低下してしまうためです。
この吸着力の低下の割合はポーラスの粒子径によって大きく異なり、細かいポーラスであるほど空気の漏れは抑えられます。
そこで当社標準品である平均気孔径55μmのポーラスと最も細かい平均気孔径2μmであるファインポーラスを使用し空気の漏れが発生する際の吸着力をそれぞれ測定しました。

グラフの縦軸は測定した吸着力(N)となり、当社の吸着力測定環境は上限値が50Nであるため50N以上の力の場合は破線で仮想グラフにしております。φ200(全面吸着時)の固定力はどちらもほぼ同等となります。

グラフの横軸は実験に使用した吸着ワークのサイズとなります。今回使用したポーラスのサイズはφ200となる為、吸着サイズが小さくなるほど空気の漏れが大きくなり吸着サイズがφ200の際は全面吸着された真空状態となります。
結果としては吸着ワークのサイズが小さくなるにつれ吸着力も減少しますがポーラス気孔径の違いで減少度合いが大きく異なることがわかるかと思います。これは先述の通り細かいポーラスは空気の漏れが少ない為となります。

また今回は測定値を数値化する為、元となる吸着圧力を-10kPaと弱くしましたが、実際の吸着に使用する-60~-90kPa等の能力を持つ真空ポンプを使用した際の固定力はより大きくなります。

今回のように部分的な吸着力を重視する場合は基本的に気孔径が細かいポーラスが有利な結果となります。
但し、お客様の用途・仕様・環境によって最適なポーラスの選定は異なってまいりますのでお悩みの際は是非お問い合わせフォームよりお問い合わせ下さい。