社内サンプル2

ポーラスチャック(フッ素樹脂系処理)

通常のポーラスチャックにフッ素樹脂系表面処理を施しました。摩擦係数が低下し非粘着性能が向上しました。ナノレベルの膜厚により、ポーラス表面にも施すことが可能です。