ブログ

アーカイブ

2017年01月24日

HoVaC(ホットバキュームチャック)の加熱能力について ―その1―

カテゴリー:

 

当社にはヒーター内蔵の真空吸着テーブルであるHoVaC(ホットバキュームチャック)という製品が御座います。

 

標準でシリコンラバーヒーターを採用しており最大250℃まで加熱が可能となりますが

その熱上昇についてのご紹介をさせて頂きます。

 

条件として12inchウェハサイズでヒーター定格が200V 900Wの製品にて

温調機の設定温度と時間経過によるポーラスチャック表面温度の関係が以下のグラフとなります。


無題1.jpg

 

ポーラスチャック表面を200℃まで加熱し温度を安定させるためには加熱開始から約2時間要します。

こちらは製品サイズによって異なることと、ヒーターの能力を上げる事で短縮も可能となりますが

急加熱を行うとセラミックの破損につながる恐れが有る為、本データレベルの加熱カーブを推奨しております。

 

近年装置への搭載や実験用としてHoVaC単体でのご使用に納入実績が増えております。

ウェハやフィルムのように薄いワークの固定をしつつ加熱を行う工程にてご相談が有る方は

是非お問い合わせフォームよりお問い合わせ下さい。

このページのトラックバックURL

http://www.yoshioka.co.jp/mt4/mt-tb.cgi/56
  • トップに戻る
ページの先頭へ戻る